三甲基一氯矽烷對水源不會持續性危害的。 這玩意在水裡很快就水解掉了， 會產生鹽酸和六甲基二矽氧烷（MM),MM對環境是沒有毒害的。
直接侵入的健康危害
侵入途徑：吸入、食入、經皮吸收。
健康危害：對呼吸道和眼睛、皮膚粘膜有強烈刺激作用。 吸入後可引起咽喉、支氣管的痙攣、水腫， 化學性肺炎、肺炎、肺水腫而致死。 接觸工人往往有眼痛、流淚、咳嗽、頭痛、噁心、嘔吐、喘息、易激動、皮膚發癢等。
毒理學資料及環境行為
危險特性：易燃， 遇高熱、明火或與氧化劑接觸， 有引起燃燒爆炸的危險。 受熱或遇水分解放熱，
燃燒(分解)產物：一氧化碳、二氧化碳、氧化矽、氯化氫。
毒性
三甲基乙氯矽烷（三甲基一氯矽烷）是無色透明液體， 有刺激臭味， 在空氣中暴露， 易和潮氣反應產生氯化氫。 其危險特性是易燃、遇高熱、明火或與氧化劑接觸， 有引起燃燒爆炸的危險， 受熱或遇水分解放熱， 放出有毒的腐蝕性煙氣。
洩漏應急處理
迅速撤離洩漏污染區人員至安全區， 並進行隔離， 嚴格限制出入。 切斷火源。 建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器， 穿消防防護服。 不要直接接觸洩漏物。 盡可能切斷洩漏源， 防止進入下水道、排烘溝等限制性空間。 小量洩漏：用砂土、乾燥石類或蘇打灰混合。 也可以用不燃性分散劑制面的乳液刷洗，
防護措施
呼吸系統防護：可能接觸其蒸氣時， 應該佩戴自吸過濾式防毒面具(全面罩)。 緊急事態搶救或撤離時， 建議佩戴隔自給式呼吸器。
眼睛防護：戴化學安全防護眼鏡。
身體防護：穿防毒物滲透工作服。
手防護：戴橡膠手套。
其它：工作現場嚴禁吸煙。 工作畢， 淋浴更衣。 注意個人清潔衛生。
急救措施
皮膚接觸：立即脫去被污染的衣著， 用大量流動清水沖洗至少15分鐘。 就醫。
眼睛接觸：立即提起眼瞼， 用大量流動清水或生理鹽水徹底沖洗至少15分鐘。 就醫。
吸入：迅速脫離現場至空氣新鮮處。
食入：誤 服者用水漱口， 給飲牛奶或蛋清。 就醫。
滅火方法：噴水冷卻容器， 可能的話將容器從火場移至空曠處。 滅火劑：二氧化碳、乾粉、砂土。 禁止用水或泡沫滅火。
